Samsung Electronics heeft de ontwikkeling van zijn Smart Sensing System gestart, een systeem dat bedoeld is om de opbrengst te verbeteren en de werking van zijn halfgeleiderfabrieken te transformeren. Het systeem is voornamelijk ontworpen om het productieproces in realtime te monitoren en te analyseren, en kan momenteel al automatisch plasma-uniformiteit behandelen. Samsung heeft als doelstelling om tegen 2030 zijn fabrieken volledig geautomatiseerd en vrij van menselijke arbeid te maken, zo meldt DigiTimes.
Het uiteindelijke doel van Samsung is het hebben van volledig onbemande halfgeleiderproductiefaciliteiten tegen 2030. Om dit te bereiken is de ontwikkeling van systemen die grote hoeveelheden data kunnen beheren en de prestaties van apparatuur automatisch kunnen optimaliseren noodzakelijk. Het Smart Sensing System is een belangrijk onderdeel van dit plan en wordt verwacht een cruciale rol te spelen in het realiseren van deze intelligente, volledig geautomatiseerde fabrieken. Samsung investeert momenteel tientallen miljoenen won in projecten zoals slimme sensoren, in de hoop dat deze investeringen op lange termijn vruchten zullen afwerpen.
De slimme sensoren die momenteel worden ontwikkeld, zijn ontworpen om de uniformiteit van plasma op wafers te meten. Dit is cruciaal, aangezien de resultaten van processen zoals etsen, depositie en reiniging in de halfgeleiderfabricage aanzienlijk worden beïnvloed door de uniformiteit van plasma. Daarom is nauwkeurige meting en beheer van dit aspect essentieel.
De ontwikkeling van dit systeem was een teaminspanning waarbij werd samengewerkt met partners en academische instellingen. Een belangrijk kenmerk van deze nieuwe sensoren is hun kleine formaat: ze passen in bestaande fabs en hebben geen extra ruimte nodig, wat kostbaar is in cleanrooms. Het is opmerkelijk dat de sensoren in Zuid-Korea zijn ontworpen en gefabriceerd. Zuid-Koreaanse chipmakers zoals Samsung hebben traditioneel zwaar geleund op buitenlandse tools voor dergelijke geavanceerde processen. Het ontwikkelen van eigen slimme senseringssystemen markeert een significante verandering, omdat het deze afhankelijkheid enigszins vermindert, hoewel de meerderheid van de door Samsung gebruikte gereedschappen nog steeds buiten het land worden geproduceerd.